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Kalrez® Sahara™ 8085
| Kalrez® Sahara™ 8085 |
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| 본 재질은 HDPCVD나 PECVD, SACVD와 같은 Etching 및 Ashing/Stripping 증착 프로세스 |
| 용도에 범용적으로 사용할 수 있는 베이지 색의 제품입니다. 또한, NF3 플라즈마에서 최소한의 |
| 미립자를 생산하도록 제작되었습니다. 본 제품은 매우 낮은 미립자 생산 및 산소와 불소 기본 |
| 플라즈마에 적용 시 낮은 질량 손실 정도를 자랑하며, 뛰어난 기계적 강도를 갖고 있으며, 결합된 |
| slit 밸브 문이나, 결합 게이트 밸브, 결합 추 밸브, 가스 구멍 밀봉, 가스 투입 밀봉, 챔버 뚜껑 밀봉 |
| 등과 같은 정적, 동적 밀봉 모두에 사용이 가능합니다. 최고 연속 사용 온도는 240°C입니다. |
| 본 제품은 짧은 시간 사용되는 경우 275°C까지도 버틸 수 있습니다. 본 제품 모두 초순수 사전 세척과 |
| 포장이 기본입니다. |
| 색상: 베이지색 |
| 경도, Shore A: 80 |
| 최고 연속 사용 온도: 240°C |
