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Kalrez® 9100
| Kalrez® 9100 |
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| 본 재질은 HDPCVD나 PECVD, ALD와 같은 증착 프로세스 용도와 에칭 용도에 초점을 맞춰 특별히 |
| 제작된 오렌지 색 투명한 제품입니다. 선별된 플라즈마 애쉬 또는 스트립 공정에서 탁월한 성능을 |
| 발휘합니다. 본 재질은 거친 플라즈마 환경에서 낮은 부식성과 극도로 낮은 미립자 생성을 위해 |
| 특별히 제작되었습니다. 본 재질은 뛰어난 고무적인 복원력과 기계적 물성 뿐만 아니라 탁월한 |
| 열 안정성과 매우 낮은 가스 배출성을 갖고 있습니다. 그래서, 정적 및 동적 밀봉 용도 모두에 사용이 |
| 적합합니다. 최고 연속 사용 온도는 300°C입니다. |
| 기존 FFKM 밀봉 재질들은 일반적으로 검정 카본과 미네랄 충진재 또는 카본 만을 포함하고 있습니다. |
| 더 새로운 제품에는 충진재가 없거나 중합체적 필러로 제작이 됩니다. 플라스마 내성은 사용되는 |
| 충진재에 따라 그 정도의 차이가 많이 납니다. 만약 충진재가 BaSO4, TiO2와 같은 플라즈마에 높은 |
| 내성을 갖고 있다면, 그것은 부식이나 질량 손실을 줄여서 중합체를 보호할 수 있습니다. 그러나, |
| 일단 중합체가 에칭된 후에 떨어져 나온 미립자를 남김으로써 미립자를 생성할 가능성이 매우 |
| 높습니다. 무충진 또는 중합체적 충진 제품은 기본적으로 카본, 불소, 산소 이외의 다른 요소들을 |
| 포함하지 않으며, 그리고 그것은 휘발성이 강한 물질로 형성되도록 완벽하게 에칭될 수 있는 까닭에 |
| 오염 가능성이 현격하게 줄어듭니다. |
| 색상: 투명한 오렌지색 |
| 경도, Shore A: 68 |
| 최고 연속 사용 온도: 300°C |
